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热解石墨涂层在外延应用中有哪些优势

浏览:506 发表时间:2019-03-26 11:30:38

简单给大家介绍一下热解石墨涂层在外延应用中有哪些优势。

1高纯度

适当的选取生成热解石墨的原料气体、基体及热区材料的纯度。可以生成高纯度的热解石墨。

2热膨胀系数的各项异性很显著

硅与热解石墨膨胀系数相差十分大。在外延过程中,可能会由于网路电压波动及设备不稳定等原因,造成硅片熔化。一般包硅、熔硅及包碳化硅石墨基座会与熔硅粘在一起或断裂报废。而热解石墨,只要用东西敲打,使其振动,熔硅即可脱落。

3热导性能很独特

热解石墨平行于基面方向上的热导率在广泛的范围内优于铜,更优于一般高纯石墨。相反,垂直于沉积面在高温下是一种良好的绝热体。这一特性使得整块基座由于感应线圈的不均或者由于基座内部结构的不均导致的温度不均达到热平衡,减少了基座各部位的温度梯度,这将使同一基座各部位生产的外延片的电阻率和层厚度均匀。

4质地细密、坚实,气密性良好

热解石墨质地细密、坚实,融化的硅不能深入基座内,内部的杂质特挥发不出来,从而解决了由于基座挥发物使石英反应管发白、变黄的而导致的外延困难,大大延长了石英反应管的寿命,而且也便于观察。

5经济耐用

热解石墨在高温条件下具有很高的机械强度,良好的化学稳定性,抗高温、高流、气流冲蚀,因此使用寿命较长。


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